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好凯德RSE1302干式螺杆真空泵

好凯德干式螺杆泵,最佳极限真空和广范围的应用,绝对干燥和无油

  • 抽速:1050  m³/h
  • 极限真空:0.01  mbar
  • 电机功率:4.47+4.47  Kw
  • 额定电压:220-380  V
  • 噪声等级:70  dB(A)
  • 产品净重:540  Kg
特点和组成:

高压段抽速快;能耗可降低30%;自循环冷却系统,能使用在无冷却水的系统环境;可提供符合ATEX标准的产品。

产品应用

● 真空镀膜、真空焊接、电子束焊接、显示器和玻璃镀膜、溅射镀膜、离子镀、光学镀膜等
● 单晶炉、多晶炉、真空热处理炉、烧结炉、退火炉、淬火炉等
● 真空干燥、冷冻干燥、检漏设备及系统、气体回收系统、液晶注入等
● 太阳能、薄膜太阳能、晶硅太阳能、耐磨涂层技术等

性能参数:


抽气速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz)

17500/21000 l/min
1050/1260 m3/h
618/742 CFM
极限压力(Ultimate Pressure) ≤7.5x10-4 Torr
≤1.0x10-3 mbar
≤1.0 Pa
水冷密封马达(Canned Motor) 频率 Frequency 50/60 Hz
电压Voltage 220~440 V
额定功率Rated Power 6+6/4.47+4.47 HP/Kw
连接口(Connection) 进气口 Inlet ISO160(bolted)
排气口 Outlet NW40
冷却水 Cooling Water 压力 Pressure 2.0~4.0 kg/cm2
流量 Min. Flow 3L/min 15℃
温度 Temp. 7L/min 30℃
接头 Connection RC3/8"
氮气 N2 压力 Pressure 0.15~0.2 Mpa
稀释流量 Dilute Flow 0~60 L/min
密封流量 Sealing Flow 0~20 L/min
接头 Connection Swagelok 1/4"
尺寸 Dimension 长x宽x高 920x430x957 mm
重量 Weight 540 Kg
噪音 Noise <70 dB(A)
控制介面 Control SEMI E73-0299
系统最大漏率 System Max. Leak-rate 1.0/10-5 mbar.l/s
室温操作范围 Operation Temp. 5℃~40℃
操作湿度 Operation Moisture 90%以下


性能曲线图:


安装尺寸图:

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